沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品名称：悬浮提拉晶体生长炉

产品型号： SKJ-LCZ

产品简述：

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技术参数

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SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用悬浮熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2000℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，水冷铜坩埚（悬浮熔炼）和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染，可得到高纯度的金属（合金）单晶。

产品名称	SKJ-LCZ悬浮提拉晶体生长炉
产品型号	SKJ-LCZ
主要参数	设备结构： ·40KW感应加热电源，用于悬浮熔炼 ·特殊设计水冷铜坩埚，可熔炼60g样品 ·高真空腔体，真空度可达10-6torr(采用分子泵系统） ·精密可旋转（籽晶杆可旋转）提拉机构，提拉速度为0.1mm/h-24mm/h
	感应加热电源： ·最大功率：40KW ·频率：80-200KHz ·电流：10-100A ·电压:380V +/-10% ,三相,50/60Hz ·水冷却：水压≧0.2MPa 水流量:≧10L/min
	水冷铜坩埚： ·坩埚尺寸:Φ35mm*60mm ·熔炼量:最大60g ·需冷却水流量：58L/min
	提拉机构： ·提拉速度:0.1-24mm/h ·籽晶杆转速：0.03-50r/min ·最大提拉行程:250mm ·可快速手动提拉 ·提拉杆内部有水冷却
	真空腔体&真空泵： ·采用SS304不锈钢腔体，带有水冷夹层 ·腔体尺寸:Φ400x40D mm ·石英窗口:Φ300mm ·真空度:10-6 Torr（采用分子泵系统） ·真空泵:分子泵体统，抽气速率700L/S
	循环水冷机： ·设备所需冷却水流量≧110L/min ·可在本公司选购循环水冷机
	循环水冷机： ·设备所需冷却水流量≧110L/min ·可在本公司选购循环水冷机