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产品 名称 |
VTC-600G高真空磁控溅射仪 |
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产品 型号 |
VTC-600G |
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主要参数 |
1、结构:台式前开门结构,后置抽气系统。 2、极限真空:6.0X10-5Pa。 3、漏率:1h≤0.5Pa。 4、抽气时间大气至5.0X10-3约20分钟。 5、真空泵组:机械泵+分子泵。 6、样品台:φ140、室温-500℃、精度±1℃ (可根据实际需要提升温度) 自转5rpm-20rpm内可调。 可根据客户需求选配加装偏压功能, 以实现更高质量的镀膜。 7、加气系统:质量流量计2路。 (氩气/氮气各一路) 8、靶头与样品台中轴线夹角为34° 9、靶头数量:3个(互成120°)。 10、 靶枪冷却方式:水冷 11、靶材尺寸:φ2″,厚度0.1-5mm (因靶材材质不同厚度有所不同) |
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12、产品规格: ·尺寸: 整机尺寸:700mm×852mm×1529mm; |
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序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
1 |
样品台挡板 |
(可选) |
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