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产品名称: 1200℃晶体生长炉
产品型号: VTF-1200X-TSSG-III
产品简述:
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技术参数
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产品名称

1200℃晶体生长炉VTF-1200X-TSSG-III

产品型号 VTF-1200X-TSSG-III

主要参数

• 立式三温区管式炉
• 工作电压:AC220V 单相
• 最大功率:  5KW
• 三个加热区:  150mm+300mm+150mm
• 总温区长度:600mm
• 最高工作温度: 1200°C(<1hr)
• 连续工作温度: 1100°C
• 三个温区都采用PID方式调节温度,可程序控温,分别由3个独立的温控系统控制
• 用户需要探索所长晶体最合适的温度梯度
• 调节三个加热区的温度,来形成不同的温度梯度
• 所配石英管尺寸 :130mm O.D x 120mm I.D x 600mm L
(用于保护电阻加热丝防止晶体生长过程中的腐蚀性挥发物,对电阻丝的腐蚀)
• 在上部炉膛处开有一个Φ25mm的斜观察孔,用于在晶体生长过程中对籽晶和晶体液面进行观察。

温控系统:
• 采用三块欧陆仪表Eurotherm控制温度,控温精度可达±0.1℃
• 采用PID方式控温,可设置28段升降温程序
• 配置3根Ω铠装K型热电偶

籽晶杆固定件和坩埚:
• 标配有1套籽晶杆固定件,不锈钢材质,用于连接客户生长晶体所用的籽晶杆;
• 可选配Φ80*80mm的铱金坩埚(需要单独付费);
• 对于其它材料的坩埚,客户可自行配置或与我们销售联系定制;

提拉机构控制系统:
一、标准配置采用步进电机系统
• 采用6"L x 4"W的触摸屏来控制提拉机构的升降和旋转
• 提拉速度:0.8-50mm/h
• 提拉杆转速:0.1-23r/min
• 快速升降速度:40mm/min
• 提拉行程:300mm
二、可选配采用伺服电机系统
(提拉速度更为均匀稳定,改善单晶生长质量)
• 提拉速度:0.8-50mm/h
• 提拉杆转速:0.1-23r/min
• 快速升降速度:40mm/min
• 提拉行程:300mm

其他选配功能:
• 上部提拉密封系统,采用真空波纹管密封,可以实现在真空密封环境下进行提拉法生长晶体;
• 下部称重系统,采用下称重方式,可以实现对生长晶体的自动精确控制。

温度校准系统:
• 标配K型热电偶温度校准系统,可插入炉膛内部进行温度梯度的测定

产品规格:
·尺寸:1000mm(L) x 630mm(W) x 2260mm(H)
·重量:200kg

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