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产品名称 |
1200℃晶体生长炉VTF-1200X-TSSG-III |
产品型号 |
VTF-1200X-TSSG-III |
主要参数 |
• 立式三温区管式炉 |
温控系统: |
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籽晶杆固定件和坩埚: • 标配有1套籽晶杆固定件,不锈钢材质,用于连接客户生长晶体所用的籽晶杆; • 可选配Φ80*80mm的铱金坩埚(需要单独付费); • 对于其它材料的坩埚,客户可自行配置或与我们销售联系定制; |
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提拉机构控制系统: 一、标准配置采用步进电机系统 • 采用6"L x 4"W的触摸屏来控制提拉机构的升降和旋转 • 提拉速度:0.8-50mm/h • 提拉杆转速:0.1-23r/min • 快速升降速度:40mm/min • 提拉行程:300mm 二、可选配采用伺服电机系统 (提拉速度更为均匀稳定,改善单晶生长质量) • 提拉速度:0.8-50mm/h • 提拉杆转速:0.1-23r/min • 快速升降速度:40mm/min • 提拉行程:300mm |
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其他选配功能: • 上部提拉密封系统,采用真空波纹管密封,可以实现在真空密封环境下进行提拉法生长晶体; • 下部称重系统,采用下称重方式,可以实现对生长晶体的自动精确控制。 |
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温度校准系统: • 标配K型热电偶温度校准系统,可插入炉膛内部进行温度梯度的测定 |
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产品规格: ·尺寸:1000mm(L) x 630mm(W) x 2260mm(H) ·重量:200kg |
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