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产品名称: 晶体生长炉
产品型号: SKJ-50CZ
产品简述:
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技术参数
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SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉,可针对于材料的实验探索,也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高温度可达2100℃,最大可长出晶体尺寸为2英寸。

产品名称

SKJ-50CZ晶体生长炉

产品型号 SKJ-50CZ

主要参数

·工作电源AC 380V,三相,25KW
·感应射频0.2-20KHz 
·最高熔炼温度2100℃

真空腔室 :
·采用SS304不锈钢腔体双层水冷腔体,确保设备工作室表面温度≤70℃,
·腔体尺寸:φ500*700mmH
·腔门上有一个80*300mm的方形观察窗口,方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况;
·腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa的机械压力表用于观察腔室内压力情况
·一个φ6.35双卡套接头做为出气口,并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断
·一个电磁阀可自动控制进气
·安装了一个安全泄压阀,当腔室中压力大于一定值时将自动泄压,确保腔体的安全

提拉机构:
·直流力矩电机驱动
·提拉速度:0.01-30mm/h
·籽晶杆旋转速度:0.1-60 rpm
·最大提拉行程:400mm
·位移精度:0.01mm

上称重系统:
·设备标配一套上称重系统,可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。
·秤量程:5.2 KG
·秤精度:0.01g

控制系统:
整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的labview软件进行控制,可以实现以下功能: 
·生长斜率及控制参数设定;
·控制晶升,动态可调
·控制晶转,可设定多段速自动执行
·检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制
·腔体真空压力检测
·报警监测,晶升晶转中频气压及称量程等上限报警
·实时数据曲线,晶体生长图例模拟
·数据记录,自动存储运行数据

水冷系统 (选配):
·工作电流:2.1-12.9A
·制冷量:49474Btu/h 
·最大流量:117L/min
·水箱容量:75L

真空系统 (选配):
机械泵技术参数:
·型号:VRD-48
·抽气口接口尺寸:KF40
·抽气速率:(48m3 /h)13.3L/S
·电机功率:1500 W
·极限压强4×10-2 Pa
分子泵技术参数:
·抽气速率:700L/s
·极限压强:6×10-6 Pa
·启动时间:≤9min
·额定转速:36000rpm/min
·冷却方式:水冷
·抽气口接口尺寸:CF160

坩埚系统 (选配):
• 可选铱坩埚及相应的保温材料组件
此单晶炉最大可生长晶体尺寸为≤φ2英寸*80mm

产品尺寸:
•炉体:880mm(L)x1250mm(W)x2640mm(H)
•控制柜:600mm(L)x600mm(W)x1200mm(H)
•中频柜:965(L)x812mm(W)x1219mm(H)
产品重量:2200kg
应用注意事项:
•本公司多种单晶均由此单晶炉生长,如蓝宝石, LaAlO3, LAST, SrLaAlO3, LiAlO3等
•可点击下图查看用此单晶炉生长Ge单晶的实物图片

                 原料熔化                                       下籽晶                                               籽晶提拉
     
             蓝宝石                    Ni单晶

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