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SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉,可针对于材料的实验探索,也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高温度可达2100℃,最大可长出晶体尺寸为2英寸。
产品名称 |
SKJ-50CZ晶体生长炉 |
产品型号 |
SKJ-50CZ |
主要参数 |
·工作电源AC 380V,三相,25KW |
真空腔室 : |
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提拉机构: ·直流力矩电机驱动 ·提拉速度:0.01-30mm/h ·籽晶杆旋转速度:0.1-60 rpm ·最大提拉行程:400mm ·位移精度:0.01mm |
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上称重系统: ·设备标配一套上称重系统,可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。 ·秤量程:5.2 KG ·秤精度:0.01g
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控制系统: 整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的labview软件进行控制,可以实现以下功能: ·生长斜率及控制参数设定; ·控制晶升,动态可调 ·控制晶转,可设定多段速自动执行 ·检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制 ·腔体真空压力检测 ·报警监测,晶升晶转中频气压及称量程等上限报警 ·实时数据曲线,晶体生长图例模拟 ·数据记录,自动存储运行数据 |
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水冷系统 (选配): ·工作电流:2.1-12.9A ·制冷量:49474Btu/h ·最大流量:117L/min ·水箱容量:75L |
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真空系统 (选配): |
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坩埚系统 (选配): |
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产品尺寸: •炉体:880mm(L)x1250mm(W)x2640mm(H) •控制柜:600mm(L)x600mm(W)x1200mm(H) •中频柜:965(L)x812mm(W)x1219mm(H) 产品重量:2200kg |
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应用注意事项: •本公司多种单晶均由此单晶炉生长,如蓝宝石, LaAlO3, LAST, SrLaAlO3, LiAlO3等 •可点击下图查看用此单晶炉生长Ge单晶的实物图片 原料熔化 下籽晶 籽晶提拉 蓝宝石 Ni单晶 |
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