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SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
产品名称 |
4电弧提拉法单晶生长炉SP-MSM-4CZ |
产品型号 |
SP-MSM-4CZ |
主要参数 |
腔体:
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真空计:腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
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电弧枪: |
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样品台: ·采用水冷铜坩埚 ·可投如样品量为60g(按铁计算) |
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提拉机构: ·控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速 ·提拉速度:0.2-10mm/h ·提拉行程:0-70mm ·转速:0-40RPM |
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控制单元:可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速) |
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真空泵: ·设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵) ·抽气速率:100L/S ·可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内) |
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循环水冷机: ·功率:800W ·水流速度:58L/min ·制冷能力:5004W(17500Btu/hour) ·温度控制:5~30 °C |
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设备尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
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