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产品名称: 4电弧提拉法单晶生长炉
产品型号: SP-MSM-4CZ
产品简述:
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技术参数
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SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

产品名称

4电弧提拉法单晶生长炉SP-MSM-4CZ

产品型号 SP-MSM-4CZ

主要参数

腔体:
·采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水
·腔体上安装有石英窗口,以便观察样品
·腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)
·腔体尺寸:Φ257*360mm


真空计:腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表


 电弧枪:
·共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)
·钨电极直径为Φ4mm
·电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节
·起弧电源: 18 V / 185 A    电压380V
·熔炼温度可达3000℃

样品台:
·采用水冷铜坩埚
·可投如样品量为60g(按铁计算)
提拉机构:
·控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速
·提拉速度:0.2-10mm/h
·提拉行程:0-70mm
·转速:0-40RPM
控制单元:可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速)
真空泵:
·设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)
·抽气速率:100L/S
·可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)

循环水冷机:
·功率:800W
·水流速度:58L/min
·制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
·温度控制:5~30 °C
设备尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

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