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产品名称: VTF-1200X-III-TSSG三温区顶部籽晶助溶剂法(TSSG)单晶生长炉
产品型号: VTF-1200X-III-TSSG
产品简述:
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技术参数
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VTF-1200X-III-TSSG是一款3温区顶部籽晶助熔剂法(TSSG)晶体生长炉。此设备主要由3部分组成:3温区加热炉(炉膛尺寸为:Φ127mm×600mm,最高温度为1200℃),温控系统可设置28段温度程序段,控温精度±1℃和精密旋转提拉机构,其提拉速度为0.8-50mm/hour. 

产品名称

VTF-1200X-III-TSSG三温区顶部籽晶助溶剂法(TSSG)单晶生长炉

产品型号 VTF-1200X-III-TSSG

主要参数

炉体:
3温区加热:150mm+300mm+150mm,三个温区由独立的温控系统控制,可创造出较大的温度梯度
最高工作温度:1200℃(小于1小时)
连续工作温度: 1100ºC 
功率:208V- 240V AC, 50/60Hz, 单相
最大功率:5KW

控制面板:
·PLC触摸屏控制面板,可设置和控制提拉行程,提拉速度和旋转速度等
·温控系统:可设置28段温度段,采用PID方式调节温度,其控温精度为±0.1℃
·升温速率:0~10ºC / min
·提拉速度: 0.8-50mm/h (可调)
·下降速度: 40 mm/minute 
·籽晶杆转速:0.1-23 RPM(可调)
最大提拉行程:300mm

加热腔体:
·腔体直径为Φ135mm(设计为开启式),最大可直径为Φ80mm的坩埚
·加热区长度600mm
可选购真空密封件:直径为Φ127mm的石英管和密封法兰


产品尺寸:

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