产品型号

SKJ-50晶体生长炉

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：三相380V  25KW

2、感应射频：功率25KW，射频0.2KHz-20KHz

3、真空腔体：Ø500mm×700mm

4、真空度：10-3torr（机械泵），10-5torr（扩散泵）

5、最大提拉行程：500mm

6、提拉速度：0.1mm/h-20mm/h

7、籽晶杆旋转速度：0-40rpm

8、最大可熔融温度：2100℃

9、控温精度：<±0.2℃

10、冷却水：所需水压0.13MPa-0.18MPa，所需流量60L/min

11、移动速度：1mm/h-10mm/h可调

12、快速移动：手动

13、结晶转速：1rpm-50rpm

14、真空系统：机械泵和扩散泵

15、极限真空度：10-5torr

产品规格

1、炉体：880mm×1250mm×2850mm

2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

3、中频柜：1100mm×500mm×1500mm

4、总重：1500kg