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石英舟最高工作温度可达1200℃，专用于晶片退火，可放置Ø2"、Ø3"、Ø4"、Ø6"的晶片。
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产品型号 |
石英舟 |
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技术参数 |
尺寸：420mm×80mm×40mm、300mm×60mm×28mm、100mm×60mm×26mm、100mm×45mm×20mm，分别可放置Ø2"、Ø3"、Ø4"、Ø6"的晶片，最多可放置25片 |
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