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小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统，输入的两种不同气体通过调节压力和流量，即可输出一种较准确的混合性气体，可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统。
1、采用SS304精密不锈钢针阀。
2、采用1/4″管径不锈钢或聚四氟乙烯管。
3、无需外接电源。
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产品型号 |
小型两通道供气系统CGM-2F |
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技术参数 |
1、浮子流量计：10-100ml/min，两个 2、压力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），三个 |
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产品规格 |
尺寸：340mm×300mm×180mm；重量：6.35kg |
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