产品型号

1500℃单温区可倾斜旋转管式炉GSL-1500X-OTF-R60

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW（需要20A的空气开关）

2、炉管：外径Ø60mm，内径Ø54mm，长1200mm

3、炉管旋转转速：0-7rpm

4、炉体倾斜角度：0-30°

5、加热元件：硅碳棒

6、加热区域：300mm

7、工作温度：最高1500℃（<2h），连续工作1400℃

8、控温精度：±1℃

9、产率：2kg/炉

10、最大真空度：4.5×10-2tor

11、泄漏率：<0.1mtorr/s

产品规格

尺寸：1300mm×600mm×1200mm；重量：100kg

可选配件

1、PC控制软件

2、刚玉管

3、石英管