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EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。 1、本机可与计算机连接。
2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。
3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
产品名称 |
EQ-TM106膜厚监测仪 |
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产品型号 |
EQ-TM106 |
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技术参数 |
EQ-TM106-1监测组件 |
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EQ-TM106-2显示仪 |
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EQ-TM106-3探头 |
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标准配件 |
1 |
EQ-TM106-1监测组件 |
1个 |
2 |
EQ-TM106-2显示仪 |
1台 |
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3 |
EQ-TM106-3探头 |
1个 |
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