沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品名称：近距离蒸发镀膜（CSS）炉

产品型号： OTF-1200X-RTP-II

产品简述： 03050103

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OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用于PVD或CSS法制作薄膜；其炉管外径为11″，炉管内载样盘可放置3″ 的圆形或2″×2″的方形基片；OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20℃/s ，可迅速使炉腔内温度升高；冷却速率：>10℃/s，可在镀膜后使样品快速降温；温控系统采用PID30段程序化控制，控温精度为±1℃，并且仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出。1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Ø76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度。

产品名称	OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉
产品型号	OTF-1200X-RTP-II
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz（20A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头） 4、工作台：设备为落地式，占地面积1m2以上 5、通风装置：需要
主要参数	1、电源：单相AC208V-240V（需20A的空气开关） 2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内径275mm，高229mm 3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功率800W，总功率1600W 4、热电偶：S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上 5、工作温度：两个加热区域单独工作的极限温度≤650℃，两加热区域极限温差≤350℃ 6、加热速率：>8℃/s 7、冷却速率：>10℃/s（600℃-100℃） 8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头 9、真空计：数字式真空显示计
可选配件	1、PC控温软件 2、两路混气系统 3、多路浮子混气系统 4、多路质子混气系统 5、真空泵 6、水冷机