沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品名称：真空旋转涂膜机

产品型号： VTC-100PAX

产品简述：03040011

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VTC-100PAX 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。该设备可储存 6 组程序，每组程序包含 9 个运行阶段。每段运行参数可独立设置，可使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及电机转子轴中心的气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAX 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

产品名称	VTC-100PAX真空旋转涂膜机
产品型号	VTC-100PAX
安装条件	1、温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露）温度： 0-45℃。 2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 3、水：设备配有排污下水口 4、电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地 5、气：真空负压（真空泵）：0.06-0.09Mpa 6、工作台：建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台最佳） 7、通风装置：无特殊要求
主要参数	1、供电接口：带保险电源插座：AC220V 50Hz 保险管规格为 10A、φ5×20mm 2、总功率：≤150W(不含外接真空泵） 3、涂膜主机腔体（材质）：聚丙烯 4、载样盘（吸盘）：聚丙烯真空吸盘：1 寸（适用φ25 样片）、3 寸（适用φ76 样片）各一个 5、运行方式：可储存 6 组程序，每组程序包含 9 个运行阶段 6、涂膜转速：500-10000rpm 有效 7、增减速率：每段增减速度设置范围：100—2000 rpm/s 8、涂膜时间：每段时间范围：0-999s 9、转速稳定性：±1% 10、控制方式：PCB 单片机按键控制 LMC 液晶显示屏注：1.设备供电为国内标准 AC220V 50Hz 供电，实际供电以产品后部标牌参数为准，此设备支持 AC110V 50/60Hz 产品定制。 2.本设备控制程序及显示均为英文。
产品规格	外形尺寸：270mm（宽）×430mm（深）×400mm（高）重量：12kg