沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品名称：真空旋转涂膜机,匀胶机

产品型号： VTC-200P

产品简述：03040004

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技术参数

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VTC-200P真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。VTC-200P真空旋转涂膜机腔体不可抽真空，工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上，该设备可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同，使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。腔室的上盖可以对样品进行加热（可选功能），有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行。VTC-200P真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。1、设有12组程序，每组包含6个运行阶段，每段增减速率设置范围：100—2000rpm/s,每段时间范围：0—60s。
2、真空吸附方式固定样件，操作简便。
3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。
4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
5、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
6、电机采用24V直流无刷电机，无级调速，可靠性高，适应性强，维修与保养简单，噪音低，震动小，运转平稳，启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
7、本机可置于手套箱内使用，但控制部分与真空泵需置于箱外。
8、可在惰性气体气氛（如Ar、N2）下进行涂层。
9、采用无油双杠真空泵，体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
10、腔体通体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。
11、全英文操作系统。
12、具有开盖保护功能，当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止
13、控制器采用单控制箱，液晶显示数值，更直观可靠。

产品名称	VTC-200P真空旋转涂膜机
产品型号	VTC-200P
安装条件	1、温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露）温度： 0-45℃。 2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 3、水：设备配有排污下水口 4、电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地 5、气：真空负压（真空泵）抽气流量不小于 70L/M（设备可通保护惰性气体） 6、工作台：建议 800X600X700mm 承重 100KG 以上(固体水泥台最佳） 7、通风装置：无特殊要求
主要参数	1、供电接口：带保险电源插座：AC220V 50Hz 保险管规格为 10A、φ5×20mm（此设备支持 AC110V 50/60Hz 产品定制。） 2、总功率：≤150W(不含外接真空泵） 3、涂膜主机腔体（材质）：聚丙烯 4、载样盘（吸盘）：Φ100 聚丙烯真空吸盘 1 个（带加热功能时为聚四氟材质） 5、运行方式：可储存 12 组程序，每组程序包含 6 个运行阶段 6、涂膜转速：500rpm-6000rpm 7、增减速率：每段增减速设置范围：100 rpm —2000 rpm 8、涂膜时间：每段时间范围：0-60s 9、转速稳定性：±1% 10、控制方式：PCB 单片机按键控制 LMC 液晶显示屏 11、加热方式：标准设备无此功能（本机可选配定制加装加热功能，独立控制温度系统，与主机控制无关联） 12、加热温度：可定制最高温度：RT-100℃ 13、加热功率：AC220V 1000W 14、控温精度：±2℃
产品规格	尺寸：主机：Φ250mmX360mm 控制箱：330mmX380mmX150mm 重量：15kg

序号	名称	数量	图片链接
1	φ100mm真空吸盘	1个
2	O型胶圈	1个
3	中心定位器（含4个定位柱）	1个
4	滴胶注射器（20ml）	1个
5	注射器支架	1个
6	无油真空泵	1个