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GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机是一种利用电阻加热使膜材汽化蒸发后凝结在基片上成膜的加热镀膜方法，该方法结构简单、实用，使用可靠，适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。
适用范围：钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等
·钙钛矿镀膜机主要由金属源蒸发沉积室，真空排气系统，真空测量系统，有机蒸发源，无机蒸发源，样品台系统，电控系统，配气系统等部分组成
·方便操作，制成的薄膜纯度高、质量好，膜厚可以准确的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以获得清晰的图形，薄膜的生长比较单纯。
·恢复工作真空快，大气至5×10-4Pa≤15分钟。
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产品名称 |
GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机 |
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| 产品型号 |
GSL-1800X-ZF6 |
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主要参数 |
1、极限真空度：5×10-5Pa，保压12小时 2、膜厚均匀性≥95%；重复性≥95%； 3、不锈钢蒸发基片托1个，最大可容纳一块4英寸样品 4、蒸发源距离可调范围：260mm-320mm 5、蒸发水冷电极2组（6个），组成4个蒸发舟，最大输出功率3Kw（电压 10V；电流300A）。 6、提供2台有机电源，2台无机电源，最多同时蒸发4种材料。 7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm（长×宽×高） |
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| 序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
| 1 |
有机材料蒸发电源 |
2套 | - |
| 2 | 无机材料蒸发电源 | 2套 | - |
| 3 |
膜厚监测仪系统 |
1套 | - |
| 4 | 分子泵 | 1台 | - |
| 5 |
冷水机 |
1台 | - |
| 6 |
聚酯PU管（Ø8、6、4mm） |
10m |
- |
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